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第1845章 总装台上的光斑（第2页）

高能深紫外准分子激光管亮起刺目的幽蓝冷光。

激光束如同一支极细的神箭，笔直打入物镜第一道透镜组。

高纯度氟化钙晶体泛起冰蓝色的光晕。

穿透深蓝色的抗反射增透膜，高能光束在二十四块透镜之间逐级聚焦折射。

光能量监测屏幕上，二十四条绿色波形如排浪般接连跳跃升腾！

“第一组匀光透镜，透过率百分之九十九！”唐国维双眼死死盯着示波器。

“第二组消像差双曲面镜，焦距偏离零点零一纳米！”沈研究员大声补充。

“能量传导平稳，没有光斑发散！”

全场数百名科学家与老工匠屏住呼吸，车间内只听见激光脉冲规律的啪啪声。

激光穿透最后一枚高纯氟化钙凸透镜，投射在下方的晶圆载物台上。

涂布着太行零一号光刻胶的高纯硅片，散发着幽微光泽。

“光斑聚焦完成，全视场无像散！”唐国维死死盯着焦面监控屏喊道。

载物台上的光斑极致凝结，没有任何彗差，没有任何枕形畸变。

“送显影轨道机，进行微观形貌复核！”张红旗果断挥手。

两名特级实验员小心翼翼取出曝光硅片，送入洁净室侧翼的显影涂胶联动机。

化学显影在氮气舱内无声进行。

三分钟后。

硅片被移入场发射扫描电子显微镜的样品仓。

“抽真空完毕，开始扫描！”显微镜操作员高喊。

大屏幕上的图像被放大到十万倍，视野中呈现出一排排整齐绝伦的平行光栅线条！

边缘陡直如刀劈斧削，没有分毫毛刺！

“微观线宽测定中！”技术员的声音带上了颤音。

标尺从一百纳米飞速收窄。

九十纳米。

“跨过八十纳米门槛了！”沈研究员屏息低呼。

七十纳米。

最终，检测仪器的绿色方框死死锁死在一条坚不可摧的数值上。

六十五纳米！

“极限线宽，六十五纳米！”

“全视场波前透过率，百分之九十四点六！”唐国维激动得破音高呼。

孙院士颤抖着双手摘下老花镜，眼眶通红地凑近屏幕：“波前像差只有十五分之一波长！”

“透光率甚至超过了尼康同代商用机型整整三个百分点！”

“奇迹！这是咱们中国人自己的深紫外投影物镜！”老院士泪洒衣襟。

李建国率先用力鼓起掌来。