与此同时。
龙国。
破壁专项指挥部。
李阳坐镇指挥部第一负责人的位置,同样面临艰巨的挑战。
全国顶尖的力量被动员起来,攻关euv光刻机的核心子系统。
然而!
在光源这一最关键的部分,团队遇到了硬骨头。
採用主流雷射等离子体(lpp)方案的实验小组遇到了大麻烦。
他们无法在提升雷射功率以达到euv生成閾值的同时,保证光学元件的使用寿命和等离子体靶材的稳定性。
几次实验下来,昂贵的镜片被烧蚀,產生的euv光功率也极不稳定,远达不到要求。
“李工,asml的路线,我们短时间內恐怕很难完全复製。”
“他们的技术积累太深了,特別是那个锡滴靶材的產生和雷射轰击的同步控制,精度要求变態的高。”
光源小组的负责人语气沉重地向李阳匯报,脸色有些颓然。
原本以为,在李阳的带领下,凭藉著他们自身丰富的经验,这项技术可以轻鬆突破。
但现在看来,他们还是有些小瞧这种高精度的光刻机了。
这让自信满满的他们,遭受了不小的打击。
项目刚进展不久,就遇到了第一个重大瓶颈,指挥部里的气氛有些凝重。
如果光源问题无法解决,后续的所有工作都无从谈起。
李阳静静地听著匯报,翻看著失败的实验数据和损伤元件的照片。
他没有指责,而是陷入了沉思。
良久,他抬起头,目光扫过在场的专家。
“我们是不是陷入了一个思维定式?”
他缓缓开口。
“为什么一定要完全沿著asml走过的路再走一遍?”
“他们用lpp成功了,不代表这是唯一的路径,也不一定是最適合我们基础的路径。”
他走到白板前,画下了几个简单的示意图。
“我们最大的优势是什么?”
“是我们在大型尖端工程装置上积累的经验,尤其是对高温等离子体的理解和控制能力。”