“不敢当,我们只是在尝试一种新的可能性。”付成不卑不亢地回答。
“哼,可能性?”秦雪冷笑一声,“我今天来,就是想告诉你们,別白费力气了。”
她从身后的男生手里拿过一块硅片,展示给眾人看。
“这是我们课题组最新的成果。用我们改进的ccp(电容耦合等离子体)技术,通过优化气体配比和反应室结构,已经能稳定刻蚀出深宽比5:1的沟槽,成品率达到了70%。”
张伟和孙涛凑过去一看,顿时倒吸一口凉气。
硅片上的刻线確实非常精细均匀,这个水平,已经超过了国內绝大多数研究机构。
“钱教授,孙主任。”秦雪的语气带著一丝骄傲,“我们化学系材料学院的赵汝成教授,已经准备將这项成果报送这次的高校技术创新成果展。我相信,这足以获得国家重点项目的支持。”
她的话外之音很明確:我们已经有了成熟可靠的方案,你们那个异想天开的“磁场约束”,既复杂又没经过验证,根本没有竞爭力。趁早放弃吧,別到时候丟人现眼。
张伟和孙涛的脸上,露出了动摇和沮丧的神色。
是啊,跟人家实打实的成果比起来,他们手里只有一堆图纸和几行仿真代码,差距太大了。
连钱立人教授的脸色也变得凝重起来。
他知道赵汝成,那是材料领域的一位大牛,做事严谨扎实。
秦雪作为他的得意门生,拿出的成果绝非虚言。
眼看军心就要动摇,付成却突然笑了。
“秦雪师姐,是吗?”他拿起那块硅片,仔细地看了看,“成果確实不错。但我想请问,你们这项技术,能刻蚀10:1的深宽比吗?”
秦雪的脸色一滯。
付成继续说道:“你们能將刻蚀的垂直度,控制在89度到91度之间吗?”
秦雪的眉头皱了起来。
“你们能保证,在连续刻蚀100片晶圆后,每一片的刻蚀速率和均匀度的误差,都小於5%吗?”
秦雪彻底说不出话了。
付成提出的这三个问题,个个都打在了她技术的“七寸”上。
ccp技术因为其固有的物理限制,在深宽比、垂直度和稳定性上,存在著难以逾越的天花板。
付成將硅片还给她,语气平静但充满了自信。
“我们做的,不是在你们的赛道上跑得更快。而是要换一条全新的赛道。”
“你们的目標,是造出一辆更快的马车。而我们的目標,是造出世界上第一台汽车。”
秦雪盯著付成,这个新生的狂妄让她感到愤怒,但他说的话,却又让她无法反驳。
她紧紧攥著那块引以为傲的硅片,转身就走。
“我们走著瞧!”撂下这句话,她头也不回地离开了实验室。
当晚,付成回到宿舍,收到了郑伊玲寄来的信。
信里,郑伊玲用娟秀的字跡,向他讲述了自己在红星海洋大学的见闻,说財会专业的课程很有趣,她很喜欢。
信的末尾,她写道:“燕京天凉,记得加衣。勿念。”
简单的几个字,让付成心中一暖。
他提笔回信,除了报平安,还详细询问了母亲周蕙兰的身体状况。