她觉得,这件事开始变得比纯粹的技术问题更有趣了。
……
第二天,西山宾馆的小礼堂。
省科委、国家科委以及几个合作单位的专家组悉数到场。
陈建国將军一身便装,坐在第一排正中,表情严肃。
王副主任坐在专家组的后排,嘴角掛著一丝若有若无的冷笑。
他已经听说了,815所的审查事件虎头蛇尾,马千里不仅没事,反而因为“积极支持兄弟单位重点项目”受到了內部嘉奖。
这让他憋了一肚子火,今天就是来看付成他们怎么收场的。
钱立人走上台,开始匯报理论部分。
隨后,付成上台,负责讲解技术实现和现场演示。
他没有多余的废话,直接走到了原型机旁。
“各位领导,各位专家,接下来我们將进行实际运行测试。测试目標:在模擬环境下,刻蚀深宽比10:1的微观结构,要求侧壁垂直度优於89度。”
这已经是国內实验室能达到的顶尖水平。
王副主任心中冷笑:“牛皮吹破天,就看你怎么收场。”
付成沉稳地操作著设备,启动,注入测试气体,开启射频电源,加载磁场。
所有人的目光都聚焦在连接著扫描电镜的大屏幕上。
嗡——
机器平稳运行。
屏幕上的电子束图像,从模糊到清晰,一个被刻蚀出的深刻沟槽的截面,呈现在所有人面前。
沟槽壁,如同刀削斧劈,笔直地向下延伸。
“报……报告数据!”一位戴著眼镜的老专家激动得声音都有些发颤。
负责数据记录的孙涛,用尽全身力气喊道:“刻蚀深度10。2微米,宽度1微米,深宽比10。2:1!侧壁平均垂直度,89。8度!”
成功了!
礼堂里爆发出雷鸣般的掌声。
陈建国將军站起身,用力地鼓掌,虎目中满是讚许。
王副主任的脸,则变成了猪肝色。
就在专家组准备上台查看设备时,付成再次拿起了话筒。
“报告各位领导,各位专家。刚才的演示,我们使用了一颗由兄弟单位815所提供的军用级核心晶片,它的性能保证了我们演示的成功。”
台下一阵善意的鬨笑,大家都明白这种“保险措施”的必要性。
“但是,”付成提高了音量,“我们团队在攻关过程中,也进行了一些不成熟的尝试。我们自己设计並製作了一块功能替代模块。接下来,我想用它,重复刚才的实验。”