“曲率引擎?那是什么东西?”
“科幻小说里看来的吧?这小子想干什么?”
台下响起一阵窃窃私语。
孙建华的眉头皱了起来,他敲了敲桌子:“付成同学,请不要用这些譁眾取宠的比喻来混淆视听!我们现在要听的是事实报告!”
“孙主任,我接下来要讲的,就是事实。”
付成转过身,拿起粉笔,在巨大的黑板上写下两个词。
“追赶”与“超越”。
“我们和霓虹国在半导体领域的差距,在座的各位老师比我更清楚。我这次去,亲眼看到了索尼的0。8微米生產线,看到了他们对euv光源的前瞻性研究。这个差距,不是五年十年,而是可能长达二十年,甚至三十年。”
“如果我们亦步亦趋,跟在他们后面,用深紫外光刻技术,从1微米追到0。8微米,再到0。5微米……我们永远都只是追赶者。他们吃肉,我们最多喝口汤,甚至连汤都喝不上。”
一个戴著眼镜的老教授举手提问,他是孙建华请来的化学系专家,姓王。
“付同学,你的意思是,我们应该放弃现有成熟的技术路线?这未免太异想天开了。科研要脚踏实地。”
“王教授,我不是说放弃,而是说,我们应该在脚踏地的同时,抬头看看另一条路。”
付成在黑板上,画了一个简易的原子结构图。
“大家都知道,光刻的精度,取决於光源的波长。紫外光的极限就在那里。但如果我们换一种『光呢?”
他用粉笔重重地点在原子核的位置。
“用高能粒子束,轰击原子,使其內层电子跃迁,从而释放出的能量。那不是紫外光,而是波长短上几百倍的——软x射线!”
“x射线光刻!”
台下的钱立人教授眼睛猛地一亮。
这个概念並不算完全新鲜,在一些前沿论文里有过提及,但都认为是几十年后的技术,太过遥远。
孙建华冷笑一声:“x射线?付成同学,你知不知道產生稳定、高强度的x射线源有多困难?这比搞深紫外光源难上百倍!你的想法,根本没有工程实现的可能性!”
“是的,常规手段很难。”付成坦然承认,“但谁说我们一定要用常规手段?”
他擦掉黑板上的图,开始画一个新的、极其复杂的装置示意图。
“我在一本很老的苏联物理笔记上,看到过一个有趣的现象,叫做『z箍缩。”
“通过在极短时间內,向环形等离子体注入超强电流,利用洛伦兹力,可以將等离子体瞬间压缩到极高的温度和密度。在这个过程中,它会释放出无比强烈的软x射线脉衝。”
“这,就是我们的『曲率引擎!”
整个会场,安静了下来。
“z箍缩”这个词,对在场绝大多数人来说,都太过陌生和遥远。
这是属於可控核聚变前沿物理学的范畴。
用一个搞核聚变的东西,来做晶片光刻?
这脑洞开得也太大了!