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第461章 刻在硅片上的反击（第1页）

2019年1月15日。美国华盛顿特区。商务部工业与安全局。罗伯特·莱特站在满是闪光灯的发布会现场，身后是一面巨大的美国国旗。他的表情严肃，像是一位正在宣判异教徒死刑的法官，眼神中透着一股毫不掩饰的傲慢与冷酷。“鉴于向阳集团长期以来对美国国家安全构成的潜在威胁，以及其在资金来源上的不透明行为。”罗伯特的声音通过麦克风传遍全球：“美国商务部决定，将向阳集团及其下属的72家关联公司，正式列入‘实体清单’。”“从即日起，任何美国公司，或使用美国技术占比超过25的外国公司，在未获得许可证的情况下，禁止向向阳集团出口任何商品、软件和技术。”这一刻，图穷匕见。台下的记者们窃窃私语。大家都知道，这其实是“补刀”。早在两年前，谷歌的gs服务就已断供，逼得向阳搞出了xs；三年前，synopsys和cadence的eda软件授权就已终止，逼得向阳启用了国产的eda；两年前，台积电更是迫于压力停止了先进制程代工。“罗伯特先生，”一名路透社记者提问，“向阳集团似乎在之前的制裁中活了下来。这次的实体清单，有什么不同？”“问得好。”罗伯特冷笑一声，“之前我们切断的是他们的‘手脚’，也就是代工和软件，他们靠着所谓的‘自研精神’还在挣扎。但这一次，我们切断的是‘空气和水’。”他竖起手指：“陶氏化学的光刻胶、应用材料的备件、杜邦的抛光液、k的检测设备维护……甚至是他们工厂里的一颗螺丝钉。”“林向阳不是想搞全产业链自研吗？我现在把整个供应链都给他禁了。我看他在那个贵州的山洞里，能用石头磨出芯片吗？”……同日。中国北京，向阳大厦。虽然向阳集团作为非上市公司，没有股价的直接波动，但这场海啸瞬间席卷了整个a股市场。交易大厅的大屏上，一片惨绿。凡是与向阳集团有业务往来的“向阳概念股”遭遇了毁灭性打击。东方光电跌停。亚迪跌幅超过8。就连刚刚宣布光刻胶突破的大南光电，也被恐慌情绪带崩，重挫7。整个资本市场都在用脚投票——没有人认为一家企业能在失去全球供应链的情况下存活，哪怕它是向阳集团。大厦顶层，cfo办公室。苏清河坐在办公桌后，手边的红色电话一直在响。那是各大银行行长和供应链伙伴打来的，大家都在问同一个问题：“向阳还能撑多久？”“撑多久？”苏清河挂断电话，看着窗外阴沉的天空，嘴角勾起一抹坚毅的弧度。“撑到天亮。”她转身打开保险柜，取出一份早已准备好的绝密备忘录。那是林向阳在去贵州前留下的指令——“备胎计划·供应链篇（终极版）”。“通知采购部。”苏清河按下内线电话，声音冷静得令人心安。“启动b计划。所有美系材料供应商，立刻剔除。抛光液切换为‘安集科技’；特种气体切换为‘华特气体’。”“苏总，那些国产材料还在测试阶段，良率不稳定啊……”采购总监在电话里犹豫。“没时间测试了。上产线，边用边调！”苏清河斩钉截铁，“另外，通知梁国栋的芯片设计团队。彻底切断与外界的一切网络连接。”……贵州黔南深山，“夸父”基地。地下400米，1号光束线洁净室。外界的惊涛骇浪，被厚重的岩层隔绝在外。这里只有机器的轰鸣和令人窒息的紧张感。虽然“夸父”光源已经点亮，那束1200瓦的euv光已经就位。但这只是万里长征的第一步。要把光变成芯片，中间还隔着一道天堑——光刻工艺。此时，梁国栋教授正趴在光刻工作站的观察窗前，眼睛里布满了血丝。“第53次曝光失败。”操作员的声音带着绝望，“梁博，光强太大了！ssb光源的功率是asl的五倍。这简直就是火焰喷射器！国产光刻胶的耐热性不够，光还没来得及感光，直接就碳化了！晶圆表面全是烧焦的痕迹。”梁国栋痛苦地抓着头发。以前用的光刻机，他们嫌光源功率小（250瓦），曝光慢，产能低。现在林向阳搞出了个ssb加速器，功率直接干到了1200瓦。这就像是用高压水枪去给花浇水，花直接被打烂了。“减弱光强？”助手建议，“加衰减片？”“不行！”梁国栋断然拒绝，“ssb的优势就是大功率、高吞吐量。如果我们把光减弱了，那就失去了弯道超车的意义。必须让材料去适应光！”“老陈！”梁国栋对着对讲机吼道，“你的光刻胶到底行不行？能不能扛住这把火？”，！化工专家陈志平正穿着防护服，在旁边的配液室里像个老巫师一样调试着瓶瓶罐罐。“别催！催命呢！”陈志平满头大汗，“陶氏化学的顶级euv光刻胶我也买不到了！现在用的是我自己调的配方！你要耐高温，我就得加抗热交联剂，但这会影响分辨率！”“我不管！”梁国栋红着眼，“哪怕你是用锅底灰调出来的，只要能扛住1200瓦的轰击，我就喊你叫爹！”“滚蛋！老子没你这么大的儿子！”陈志平骂骂咧咧，但手上的动作却更稳了。他深吸一口气，从恒温箱里取出一瓶刚刚合成的淡黄色液体。这是他在几千次实验中，偶然发现的一种“含氟聚合物配方”。它在极端光强下，不仅不会碳化，反而会发生一种奇异的“超感光反应”。“试试这个。”陈志平把瓶子递进传递窗，“这是第108号配方。如果这个还不行，我就把自己扔进加速器里炼了。”……光刻机台前。朱教授也在拼命。他面临的问题更棘手——对准。ssb光源是连续的、高频的。为了配合这种光，晶圆台的移动速度必须极快，才能保证曝光均匀。“速度太快，震动压不住啊！”朱教授盯着干涉仪的数据，“晶圆台一秒钟移动500毫米，急停的时候会有微米级的余震。对于7n工艺来说，这就像是八级地震。套刻误差直接爆表了。”“asl是怎么解决的？”旁边的年轻工程师问。“asl用的是德国蔡司的原子级反射镜和磁悬浮台，我们现在的供应链全断了，造不出来那么精密的。”朱教授咬着牙，“我们只能用土办法。”“什么土办法？”“以快制快，动态补偿。”朱教授看向一直在旁边敲代码的王博。“王博，你的‘夸父os’能控制电子束，能不能控制我的工件台？”“你的意思是……”王博抬头，推了推那副快要滑下来的眼镜。“我在工件台上装了压电陶瓷传感器。震动波传导需要时间。只要你的算法够快，能不能在震动发生的前一毫秒，给电机一个反向的力，把它抵消掉？”“主动降噪耳机的原理？”王博秒懂。“对！给台子戴个降噪耳机！”“能搞！”王博眼中精光一闪，“我的蜂群算法连光速跑的电子都能按住，还按不住这块铁板？只要把控制频率拉到100khz，我就能按住这头疯牛！”……2019年2月4日。除夕夜。地表之上，平塘县的村寨里已经响起了稀疏的鞭炮声。大红灯笼挂了起来，年味儿正浓。但在地下400米，气氛凝重得几乎要爆炸。这是最后一次尝试。如果今晚拿不出合格的芯片，林向阳就没有底气在年后应对罗伯特的全面绞杀。“光刻胶涂布完毕。配方：陈氏108号。”“eda布线检查：通过。”“工件台主动抑震系统：开启。”“光源功率：1000瓦（锁定）。”林向阳站在总控台前，手里拿着一部刚刚组装好的“火种7”工程机——它虽然做工精良，但里面是空的，因为它缺了一颗芯。他把手机放在桌上，目光如炬。“开始。”滋——滋——滋——这一次，光刻室里没有传来焦糊味。在高速相机的监控下，那束强悍的euv光，像是一把精准的手术刀，快速而凌厉地扫过晶圆表面。陈志平的“108号配方”经受住了考验。它没有燃烧，而是瞬间完成了光化学反应，将掩膜版上的电路图，完美地“复印”在了硅片上。而朱教授的工件台，在王博算法的加持下，稳如泰山。每一次急停，反向力矩都会精准地抹平震动，就像一位武林高手在化解千钧之力。五分钟后。“曝光完成！送入刻蚀机！”又过了半小时。“清洗完成！去胶完成！”当机械臂托举着那片12英寸晶圆从传送口缓缓伸出时，所有人都屏住了呼吸。在显微镜的高倍镜头下。原本光洁的硅片表面，此刻布满了比迷宫还要复杂一万倍的电路纹路。那是68亿个晶体管。那是人类智慧的结晶。那是7n的物理极限。“上探针台！测良率！”梁国栋的声音都在发颤。滴——测试仪的屏幕上，晶圆图谱开始刷新。无数个绿色的小方块开始亮起。每一个绿点，代表一颗功能完好的芯片。10……50……80……最终，数字定格。【yield:924】（良品率：924）“哇！！！”梁国栋爆发出一声撕心裂肺的哭喊，整个人瘫软在地上。“成了！九成良率！比台积电早期还要高！”小主，这个章节后面还有哦，，后面更精彩！“我们做出来了！我们用国产的光刻胶、国产的eda、山洞里的光，做出来了！”地下大厅瞬间变成了欢乐的海洋。朱教授摘下眼镜抹眼泪，陈志平把安全帽扔向空中，王博抱着电脑傻笑。林安然走到林向阳身边，递给他一片刚刚切割下来的芯片。那是一颗指甲盖大小的黑色方块。上面用激光蚀刻着一行微小的字：pangus8adeguizhou，cha林向阳捏着这颗芯片。它还带着余温，烫得人心头发热。“美国封锁了eda，我们自己写了。”“美国封锁了光刻胶，我们自己调了。”“美国封锁了台积电，我们自己造了厂。”林向阳看着芯片，轻声说道：“这不是一颗石头。这是一块砖。一块用来砸碎他们玻璃窗的砖。”他拿出手机。此时正是大年初一的零点。全中国的电视机里都在播放春节联欢晚会，欢声笑语一片。而在大洋彼岸，罗伯特·莱特正在等待着向阳集团破产的消息。“清河。”林向阳拨通了电话。“在。”苏清河的声音有些紧张。“发公告吧。”“内容呢？”“一张图，一句话。”……五分钟后。向阳集团的官方微博、推特、facebook同时更新了一条动态。没有长篇大论的辩解，没有悲情的诉苦。只有一张黑底红字的海报。海报中央，是一束刺破黑暗的、耀眼的翠绿色光束。光束的尽头，悬浮着一颗芯片。配文只有一行字：【听说有人想把我们关在黑屋子里？不好意思，我们自带了手电筒。】【2019215，向阳集团春季发布会。盘古s8，如约而至。】轰——！这条微博发出的一瞬间，整个互联网炸锅了。还在过年的中国网民们沸腾了。持有向阳关联股票的股民们欢呼了。而在华盛顿，罗伯特·莱特看着那张海报，手中的酒杯“啪”的一声掉在地毯上。“what?”他难以置信地盯着那束绿色的光。“euv？他们哪里来的euv？asl明明没有发货！”“那是绿光……不是asl的粉红光……”罗伯特突然感到一阵莫名的恐惧。那是对未知的恐惧。他以为自己封死了一切门窗，但中国人却在地下挖了一条通往未来的隧道。2019年的春节。烟花璀璨。但在贵州的深山里，那一束看不见的光，才是真正照亮中国科技前程的最美烟火。：（）十岁当家，用五块钱撬动商业帝国