当晚九点。
上沪晶圆基地,地下应急会议室。
所有手机、手表、无线设备全部封存。
门外三道岗。
门内坐满了人。
半导体院士。
光学专家。
材料厂负责人。
晶圆厂厂长。
军工代表。
中枢特派人员。
还有从京城紧急接入的李援朝、王卫国、吴建邦、石磊。
会议室中央,a-17样片的扫描图挂在主屏上。
那条从废品里抽出来的势能谷线,扎进每个人心里。
秦立成坐在靠边位置,眼眶还有点红。
他已经让人查顾景山。
可这个名字离开体系太久,能查到的东西不多。
许燃站在白板前,没有开场白。
“烛龙升级方案。”
第一行字落下。
会议室瞬间安静。
许燃写下四个词。
【负折射边缘态物镜】
【多极势阱】
【表面势能模板】
【受控原子自组装】
张怀民盯着白板。
“你要正式放弃缩小投影?”
“对。”
许燃转身。
“传统euv的核心逻辑,是把图案缩小后投到晶圆上。”
“光源越短,物镜越强,掩膜越精,图案越细。”
“这条路能走。”
“西方走了几十年。”