“20纳米到50纳米之间。”
林允宁给出了一个大致的范围,“你说得对,不能太薄也不能太厚,具体的最佳工艺窗口,需要实验验证。我可以帮你做一个模拟,进一步缩小范围。
“不用,这就够了。”
埃琳娜转身,一把抓起防静电服披在身上,动作利落得像是个即将上战场的战士,“剩下的交给我。两天?不,二十四小时。二十四小时后我给你最佳参数。’
林允宁没有走。
他拉过一把椅子,坐在了控制台旁边:
“我在这儿陪你。两个人看数据总比一个人快。”
埃琳娜看了他一眼,没说话,只是眨了眨那双蓝眼睛:
“随便你,别挡路就行。”
接下来的二十个小时,实验室里只有真空泵的轰鸣声和机械臂运转的咔哒声。
这是一场并未见血的厮杀。
第一轮:钛层20nm。失败。剥落依旧。
第二轮:钛层50nm。失败。薄膜虽然没掉,但表面出现了龟裂。
第三轮。。。。。。第四轮………………
林允宁和埃琳娜就像两个精密的齿轮,配合得天衣无缝。
林允宁负责实时分析数据修正模型,埃琳娜负责精准地执行每一次溅射操作。
终于,在第五轮实验结束时。
埃琳娜用镊子夹起那片样品,用标准的3M测试胶带狠狠地粘在薄膜表面,然后用力一撕。
“嘶啦??”
清脆的撕裂声在安静的实验室里回荡。
胶带上干干净净,没有带下来哪怕一点黑色的粉末。
薄膜像长在基底上一样,纹丝不动。
“Bingo!”
埃琳娜把样品扔在托盘里,发出清脆的响声。她摘下护目镜,那双蓝眼睛里满是熬夜后的红血丝,却亮得惊人。
“最佳参数锁定了:钛层厚度35nm,溅射功率150W。还有一个关键诀窍??”
她指着控制面板,“在溅射前,必须进行10分钟的氩气反溅射清洗RFcleaning,这能把基底表面的那层顽固水汽给轰掉。”
参数立刻发回了国内。
此时的春江县,已经是晚上十点。
市人民医院的心内科病房里。
宋子阳死死地按着宋德海的肩膀,不让他下床。
“爸!你就老实躺着吧!刘师傅说了,参数收到了,他们正在试,你在现场除了添乱还能干啥?”
“放屁!老子在现场那是定海神针!”
宋德海骂骂咧咧的,但身体确实虚得厉害,稍微一动就头晕目眩。
他只能无奈地躺回去,手里死死攥着那部诺基亚手机,开着免提,就像攥着自己的命。
电话那头,传来刘师傅在车间里略带嘈杂的汇报声。
“真空度达标了。。。。。。开始反溅射清洗。。。。。十分钟倒计时……………”