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第31章 这小子上辈子是爱因斯坦吧（第1页）

钱立人的话，在小小的实验室里激起了层层涟漪。

“高校技术创新成果展？”研究生张伟的脸上露出一丝苦涩，“老师，就凭我们这几个人，这堆破烂，能拿出什么新东西？別的学校，像燕京大学、旦旦大学，他们的实验室经费都比我们整个系还多。”

“是啊老师，”另一位研究生孙涛也附和道，“三个月时间太短了。我们连基本的实验条件都保证不了，搞创新……是不是太……”

他没把话说完，但意思很明显——

这不是他们怯懦，而是残酷的现实。

这些年，他们跟著钱教授，眼睁睁看著一个个雄心勃勃的计划因为设备故障、材料短缺或是经费耗尽而搁浅。

大家的锐气，早就被磨得差不多了。

“哼，还没打就先泄气，像什么样子！”钱立人教授朝他们一一瞪眼，“別人有钱有人，我们有脑子！穷，有穷的搞法！”

他转身走到那块写满了公式的黑板前，拿起粉笔，用力画了一个示意图。

“我们现在这台刻蚀机，用的是最简单的电容耦合等离子体（ccp）技术，靠上下两个平板电极產生辉光放电。”

“这种方式，等离子体密度低，不均匀，而且能量和密度耦合在一起，很难独立控制，所以刻蚀精度上不去。”

他一边说，一边在图上画著代表等离子体的杂乱线条。

“我的想法是，彻底拋弃这种老掉牙的设计！”

钱教授擦掉原来的图，重新画了一个更复杂的结构。

“我们设计一种新的反应室，引入一个外部的、多极的、並且可以高速脉衝的磁场！”

“利用这个交变磁场，將等离子体约束在晶圆片上方的一个特定区域內，形成高密度、高均匀性的等离子体团。”

“同时，通过独立控制晶圆片基座上的射频偏压，来精確控制轰击晶圆的离子能量！”

他越说越兴奋，粉笔在黑板上敲得“噠噠”作响。

“这样一来，我们就把等离子体的『密度和『能量这两个最关键的参数，进行了解耦！”

“我们可以用很低的能量，获得很高的刻蚀速率，同时还能实现极高的各向异性！”

“这在理论上，完全可以刻蚀出深宽比超过10:1的深槽！这是目前国內所有设备都做不到的！”

所有人都被钱教授这个构想给震住了。

张伟和孙涛张著嘴，半天说不出话来。

他们是专业人士，自然明白这个构想意味著什么。

如果真的能实现，这绝对是国內刻蚀技术领域一个里程碑式的突破！

但紧接著，巨大的困难就像一座大山，压在了他们心头。

“老师……这个想法太……太超前了。”张伟结结巴巴地说道，“脉衝多极磁场？这个电源要怎么设计？我们连一个像样的稳压电源都没有。”

“而且，这么复杂的磁场，如何保证它的稳定性和均匀性？“

“这需要大量的计算机模擬，我们系那台老掉牙的计算机，预约一次要一周，算一个简单的模型就要一整天……”